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產品特點

• 該設備為國內首臺套設備，擁有納米多層膜制備、離子束拋光、曲面均勻沉積等多項關鍵核心技術，可完成各類聚焦鏡、單色鏡、勞埃鏡等膜層制備，具有膜層數多，膜層处所精度高，厚度精度高項目，為基礎科學、工程科學等領域原創性、突破性創新研究供给重要支撐。