監事會主席
放大率：通過控制掃描區域的大小來控制放大率的。假使必要更高的放大率，必要掃描更小的一塊面積可以了。放大率由屏幕/照单方面積除以掃描面積得到
場深：SEM中，位于焦平面上下的層區域內的樣品點都可能得到良好的會焦而成象。這層的厚度稱為場深，為幾納米厚，于是，SEM可能用于納米級樣品的三維成像。
工作距離：工作距離指從物鏡到樣品最高點的垂直距離。
如果增加工作距離，可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場深。
假使減少工作距離，則不妨在其他條件不變的情況下獲得高的分辨率。
通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。
