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“解析儀器”包含所有需要在真空環境下進行解析的所有應用，如電子顯微鏡使用真空環境下差异粒子的散射成像對物質外貌微區形貌進行解析，氣相色譜質譜儀使用真空環境差异核質比粒子質譜圖對物質的種類進行解析，氦質譜檢漏儀使用氦氣在真空環境下離子信號對漏率大小進行測定，在外貌科學、质料解析、環境解析中也有著廣泛的應用。