磁懸浮分子泵產品是集成電路制造裝備的關鍵核心零部件，為工藝刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體制造關鍵工藝過程供给所需的高潔凈度超高真空環境。因为半導體產業鏈價值高，對其生產工藝中的各項裝備可靠性要求嚴苛。磁懸浮分子泵作為關鍵核心零部件，不僅需滿足半導體制造裝備的各項工藝技術指標，還须要滿足其安好性、可靠性要求。今天，小編向您介紹亚星会员半導體行業專用CV/CS型磁懸浮分子泵。
CV型磁懸浮分子泵主要應用于半導體刻蝕裝備，此中，C代表耐腐蝕本能机能，V代表防沉積本能机能；CS型磁懸浮分子泵主要應用于半導體離子注入裝備，適用于回旋加速器等工業過程領域，此中S代表分體型，適用于高壓、高電磁輻射的應用場景。CV/CS型磁懸浮分子泵聚焦半導體行業的高要求，擁有高的本能机能和的體驗，關鍵核心技術全体自助可控，可滿足您的定制化需求。
產品突出特點：
（1）卓越可靠的耐腐蝕能力
半導體刻蝕、沉積等工藝過程中會利用強腐蝕性工藝氣體，因此要求分子泵的核心部件具有針對工藝氣體的耐腐蝕才干。
CV/CS型磁懸浮分子泵渦輪及靜片外貌涂覆有復合耐腐蝕涂層，保護渦輪及靜片基材免受腐蝕氣體的侵蝕。
（2）安全穩定的防沉積能力
半導體制造過程中的某些工藝氣體易發生冷凝沉積，為按捺其沉積到分子泵內部抽氣通道和附件管道造成堵塞，需要分子泵整體進行加熱以具有較高溫度，防止工藝氣體冷凝沉積。
CV/CS型磁懸浮分子泵采取航空級高強度鋁合金，結合優化設計的散熱通道，實現了分子泵在加熱及大流量氣載時的安详穩定運行。
（3）配置靈活的分體式設計
半導體離子注入、粒子加速器等領域大多存在強電場和強磁場，部分惡劣工況存在強電離輻射，這樣的環境不妨影響分子泵控制器工作，縮短分子泵运用壽命变成損壞。
CS型磁懸浮分子泵分子泵本體與控制器分開，通過長線纜，能夠使控制器遠離強電磁環境，分子泵本體選配電磁防護罩，可進一步提升分子泵的抗電磁干擾才能。
（4）緊湊便利的高集成設計
半導體制造領域機臺設備集成度高，設備和附件的結構為緊湊、安裝空間為有限。
CV/CS型磁懸浮分子泵結構緊湊、體積小、安裝便当，便于在機臺中安置。
作為半導體裝備核心零部件供應商，亚星会员憑借在真空行業的領軍地位和四十多年的技術積淀，承擔了國家重大科技專項「極大規模集成電路制造技術及成套工藝」項目中「磁浮分子泵系列產品開發與產業化」項目，成功研制了中國第一臺具有自立知識產權的磁懸浮分子泵，主導拟订了中國磁懸浮分子泵行業標準，陸續推出系列磁懸浮分子泵產品，完成供應鏈自立可控，實現科技成果規模產業化，在工業領域取得了廣泛應用。同時，亚星会员管理聚焦半導體行業需求，持續研發推出特别工藝專用磁懸浮分子泵產品，實現半導體制造領域國產化替代，助力解決集成電路裝備核心零部件“卡脖子”問題，為半導體產業設備核心部件國產化發展做出貢獻！
