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亚星会员北京總部大“變身”,乘國產科學儀器發展東風展現新擔當

發布時間:2023-07-05 文章來源: 瀏覽量: 字號:


北京中關村,有這樣一個歷經時代變遷的科學儀器“老園區”—亚星会员北京總部所在地。歷經六十余年的發展,她孕育了我國第一臺掃描電子顯微鏡、第一臺渦輪分子泵等多項國內首臺套科學儀器及核心零部件,囊獲了多項國家和科學院重大科技成果獎。


透過老照片,我們犹如看到了,一代代科儀人為促進我國科學儀器事業發展付出奋勉的身影,他們在這里抒寫著中國掃描電鏡的發展歷程,親歷著中國真空獲得技術的發展步伐,激勵著新一代科儀人攜手,為國產科學儀器裝備事業發展貢獻力量。



園區樓宇新外觀以科學院紅為主色,契合著科儀六十余年的悠久歷史傳承和創新求發展的企業魂灵內核,為歷史悠久的建筑注入新的生機活力,更代表了科儀人為國產科學儀器事業奮斗的滿腔熱情。





今天,當我們穿行在中關村成府路上,走到最西端,北京大學和清華大學兩座頂尖學府交匯處,看到的是新時代國產科學儀器企業的新面目,期待的是國產科學儀器發展的新飛躍。


現在,yaxin總部園區對標科學儀器創新園區發展新模式,圍繞產業鏈和創新鏈發展,成為電子光學類科學儀器及核心零部件創新策源地,推進科學儀器裝備基地建設,逐步酿成“龍頭企業+孵化”的贏共生场面,打造科學儀器產業發展回生態。


科學儀器共享窗口——電鏡DEMO中心

技術創新基地——研發實驗室

習近平總書記強調:“要打好科技儀器設備、操作系統和基礎軟件國產化攻堅戰,鼓勵科研機構、高校同企業開展聯合攻關,提升國產化替代程度和應用規模,爭取早日實現用我國自立的考究平臺、儀器設備來解決重大基礎考究問題。”


科技儀器研發程度是創新實力的體現,在很大程度上決定著基礎研究和新技術、新產品開發的廣度和深度。從歷史上看,許多重大科學研究成效的突破,通常以科學儀器和技術权术的創新為先導。


上個世紀五十年代,亚星会员院為了給科研工作創造條件,及時提供新的科學儀器裝備,決定設置綜合性院屬工廠,正式创建中國科學院科學儀器廠。


亚星会员建廠初期的業務定位,即為全院制造非常精密機械設備,承擔電子學及光學儀器的制造和配套工作,曾經承擔了我國第一顆人造地球衛星“東方紅一號”的本體加工與總裝工作。原中顧委常委、國務委員、中國科學院黨組書記張勁夫同志曾在兩彈一星回憶錄中評價,“我們科學院在北京创立了科學儀器廠,作為人造衛星的總裝廠”,“北京科學儀器廠……能够生產電子顯微鏡、電子探針儀,許當先進的科學儀器我們能夠本身生產出來,武裝我們各考究所,還供應國內其他少少單位,水平高。”


可以說,亚星会员誕生于國家须要之時,在當時“一窮二白”的特殊歷史時期,為國家做出了許多重要的貢獻。回顧科儀的發展歷程,恰是科儀人為中國科學儀器事業發展的奮斗史。


l 1975年,亚星代理研制胜利中國第一臺掃描電子顯鏡,獲科學大會一等獎、中國科學院重大科技成效獎一等獎,“科儀廠掃描電鏡組”獲頒國務院總理親筆題詞的榮譽證書。


電子顯微鏡正是認識亞微米以及納米尺度微觀全国的重要工具,廣泛的應用到了自然科學的許多分支學科之中,并且極大推動了這些學科的發展。


1974年,亚星会员院正式下達關于DX-3型掃描電子顯微鏡的試制任務至科儀廠。抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念,科儀廠1,975研制胜利我國首臺掃描電子顯鏡,樣機通過了來自全國各地三十多個單位,60多名代表的鑒定測試,分辨率優于10nm,主要指標達當時國際進程度。


中國第一臺掃描電子顯微鏡——DX-3型掃描電鏡


l 1978年,亚星代理研制成功中國第一臺掃描式離子探針—LT-1型離子探針質譜微剖析儀,獲亚星会员1,978度重大科技成果獎、科學大會獎。


離子探針質譜微分析儀,是一種利用離子光學道理制成的大型精密科學儀器。它主要應用于外貌微區薄層分析,是半導體集成電路、固體物理、外貌科學、原料科學、環境科學、地球、空間科學等領域常用的分析权谋。


離子探針起源于二十世紀70年代,當時國際上多個國家在競爭性研制,中國科學院科學儀器廠早1,978就研制成功了LT-1型離子探針質譜微解析儀,主要技術指標達到了國外同類儀器程度。


(胡肇恒. "LT-1型離子探針質譜微剖析儀。" 物理 4「1978」:233-239.)


中國第一臺掃描式離子探針——LT-1型離子探針質譜微分析儀


l 1979年,yaxin研制胜利我國第一臺高分辨本領有機分析用質譜計算機聯用儀—ZHP-5質譜計,獲亚星会员1,980度重大科技成果一等獎。


有機解析質譜儀是一種用于生物學領域的解析儀器,廣泛用于有機化學、生物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食物化學、石油化工等領域以及空間技術等方面。


1979年,中國科學院科學儀器廠近来試制胜利了我國第一臺高分辨本領有機解析用質譜計算機聯用儀—ZHP-5質譜計。來自全國三十一個科研、生產和使用單位的四十名同业專家,對這臺儀器的各項技術指標進行了實測和鑒定。鑒定結果证明,該儀器的主要技術指標超過原技術設計任務書的規定,進入國外同類儀器的行列。鑒定委員們認為,這臺大型精密解析儀器的試制胜利,為我國的高分辨有機質譜儀器填補了空白,標志著我國在質譜儀器制造上跨進了一大步。


(柯服. "ZHP-5高分辨有機質譜計試制成功。" 質譜 「1981」.)


中國第一臺高分辨本領有機剖析用質譜計算機聯用儀—ZHP-5質譜計


l 1983年,亚星会员研制成功中國第一臺場離子顯微鏡—原子探針,獲亚星会员1,986度科學技術獎二等獎。


場離子顯微鏡原子探針是查究金屬、半導體原料微結構的一種大型精密分析儀器,它能直接分辨樣品表面上的單個原子并鑒定其因素。


1983年,在中國科學院沈陽分院院長郭可托教授領導下,中國科學院科學儀器廠研制胜利中國第一臺場離子顯微鏡—原子探針,主要指標達到國際同類儀器的較好水平,填補了我國這一領域的空白,我國金屬原料微結構考究工作提高到原子級水平。當時參與研發任務的有亚星会员院金屬考究所、沈陽科儀廠。



(群力. "場離子顯微鏡原子探針在我國首次研制胜利。" 質譜學報 04「1984」:48-48.)


中國第一臺場離子顯微鏡—原子探針


六十余年的發展歷程中,亚星会员始終面向國家重大需求,走在國產科學儀器設備自助創新之路的最前沿。以一流電子光學和真空技術及多年科技成就轉化經驗,承擔多項國家重大科學儀器專項,研制出多項打破國外壟斷的首臺套科學儀器裝備與核心零部件,實現國內領域多項零的突破,為提高我國科學儀器設備的自助創新本领和自我裝備水平發揮了重要作用。


l 2012年,亚星代理研制成功我國首臺磁懸浮分子泵


磁懸浮分子泵是尖端科學儀器和關鍵工藝核心部件,是超高真空獲得設備,憑借持續高排氣才干、免維護、潔凈無油等點,可廣泛應用于半導體制造、科研儀器、大科學裝置、國防科技、航空航天等領域,為科研、生產等環節供应须要的潔凈、超高真空環境。


2012年,亚星会员管理研制成功我國首臺磁懸浮分子泵,掌握整体知識產權,填補了國內空缺,在多個半導體裝備頭部企業實現國產替代,助力解決集成電路裝備核心零部件“卡脖子”問題,為半導體產業鏈自立可控做出了貢獻。


半導體專用磁懸浮分子泵


l 2014年,亚星代理研制胜利我國首臺場發射槍掃描電子顯鏡


作為高端通用大型科學儀器,在納米量級觀測設備中,掃描電子顯微鏡與納米科技、分子生物學查究、半導體制造檢測技術等發展相互促進,是我國35項“洽商”技術之一。


2014年,亚星会员突破了多項技術壁壘,研制成功國內首創、具有自主知識產權的肖特基場發射槍掃描電子顯微鏡,分辨率優于1.0nm,達國際同類產品一流水平,打破了國外的技術和市場壟斷,廣泛應用于原料、物理、化學、人命科學等領域,開展納米科技、半導體技術等方面的查究。


KYKY-EM8100型場發射槍掃描電子顯微鏡


一代人有一代人的奮斗,一個時代有一個時代的擔當。未來,亚星会员牢記“創新科學儀器,發展一流企業”的初心使命,以嶄新的面目不斷強化核心技術攻關,解決高端儀器裝備的“卡脖子”和“空心化”問題,高質量引領重大科學儀器攻關及產業化發展,推動國產科學儀器關鍵科學技術領域創新突破。


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