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真空獲得

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CXF-320/3002CS

產品特點

  • 高性能氣體輸送渦輪葉片
  • 耐反應產物沉積結構與功能
  • 豐富的配件與可擴展性

應用領域

表面剖析、等離子體監測、殘余氣體剖析、光刻、物理氣相沉積 PVD、化學氣相沉積 CVD、離子刻蝕、注入-光束、檢測、分子束外延 MBE、真空鎖 轉運箱、平板顯示、LED/OLED、硬盤鍍膜、光伏、玻璃鍍膜、CD/DVD、光學鍍膜、硬質涂層、卷繞鍍膜、醫學技術、電子束焊接、真空干燥、核研究、聚變技術、等離子研究、粒子加速器、模擬空間站、冷凍研究、基本粒子物理學、納米技術、生物技術
  • 技術指標
  • 尺寸
  • 產品特性
  • 配件
  • 下載
  • 進氣口法蘭
    DN320 ISO-F
    排氣口法蘭
    KF40
  • 抽速速率（L/s）
    N2:3260 Ar:2900 He: 2550 H2:1730
    壓縮比
    N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He:＞ 1E4 H2:＞1E3
  • 極限壓強（Pa）
    1E-7（橡膠密封Rubber seal）
    最大瞬時入口流量（sccm）
    2400
  • 保護氣入口法蘭（選配）
    KF10
    推薦保護氣體流量（sccm）
    50
  • 最大允許磁場強度（mT）
    徑向Radial：3 軸向 Axial：15
    額定轉速（RPM）
    24000
  • 啟動時間（min）
    ≤10
    停機時間（min）
    ≤14
  • 冷卻方式
    水冷
    冷卻水流量（L/min）
    3
  • 冷卻水溫度（℃）
    20±5
    電源電壓（VAC）
    220±10%，50Hz 110±10%，60Hz
  • 最大功率（W）
    1000
    適配電源型號
    CXFD-1001S
  • 控制線纜長度（m）
    5或10（選配）
    建議前級泵（L/s）
    ≥30
  • 重量（kg）
    76
    文件名 類型 語言 日期 文件大小

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