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真空獲得

CXF-320/3001

產品特點

  • 節能：無摩擦，避免摩擦熱損耗、較其它類型產品能耗降低30％
  • 高效：更長的連續工作時間、高氣流量和高抽速
  • 靈活：緊湊型結構，滿足更小的物理空間需求、任意角度安裝，適合各種設計需求、豐富擴展功能，滿足客戶定制化需求

應用領域

科學研究加速器光伏Low-E玻璃鍍膜ITO鍍膜光學鍍膜裝飾鍍膜平板顯示真空爐電真空新能源新材料真空干燥低溫制冷薄膜沉積刻蝕離子注入光刻電子器件
  • 技術指標
  • 尺寸
  • 產品特性
  • 配件
  • 下載
  • 進氣口法蘭
    DN320 ISO F（標配） 
    排氣口法蘭
     KF40
  • 抽速速率（L/s）
     N2:2950   Ar:2750    He:2300    H2:1100
    壓縮比
     N2:＞1E8    Ar:＞1E8    He:＞1E4    H2:＞1E3
  • 極限壓強（Pa）
    1E-7（橡膠密封） 
    最大瞬時入口流量（sccm）
    2100
  • 保護氣入口法蘭（選配）
     KF10
    推薦保護氣體流量
     50
  • 最大允許磁場強度
      徑向：3  軸向：15
    啟動時間（min）
    ≤9
  • 停機時間（min）
    ≤12
    冷卻方式
    水冷
  • 冷卻水流量（L/min）
    3
    推薦冷卻水溫度（℃）
    20±5
  • 電源電壓（V AC）

      220±10％，50Hz          110±10％，60Hz

    適配電源型號
    CXFD-1601
  • 建議前級泵
    ≥30
    重量（kg）（ISO F）
    76


    文件名 類型 語言 日期 文件大小

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